IMPLEMENTAÇÃO DE UMA MESA DE VARREDURA XY E APRIMORAMENTO DO SISTEMA FOCAL DE UM APARELHO DE LITOGRAFIA
Este trabalho propõe o desenvolvimento de um sistema de controle de posição para uma mesa cartesiana XY (mesa de varredura), a qual integra um equipamento de litografia óptica pré-desenvolvido. Objetivouse utilizar tal mesa como uma base de posição ajustável para resistes fotossensíveis durante o processo de fotogravação, automatizando assim o processo em questão e assistindo o mecanismo de alinhamento da amostra abaixo da torre de projeção (do equipamento litrográfico). Além disso, como objetivos específicos, visouse desenvolver softwares: para funcionar como interface de comunicação serial, para auxiliar o processo de microgravação de padrões e para gerar as imagens que representam tais padrões.
IMPLEMENTAÇÃO DE UMA MESA DE VARREDURA XY E APRIMORAMENTO DO SISTEMA FOCAL DE UM APARELHO DE LITOGRAFIA
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DOI: 10.22533/at.ed.82919071010
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Palavras-chave: controle de posição; mesa cartesiana XY; equipamento de litografia óptica; microgravação.
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Keywords: position control; scan table; optical lithography equipment; microgravation.
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Abstract:
This work proposes the development of a position control system for a Cartesian XY table (scan table), which integrates a pre-developed optical lithography equipment. It was intended to use such a table as an adjustable position base for photosensitive samples during the optical lithography process, hence automating the process in question and assisting the alignment mechanism of the sample below the projection tower (of the lithographic equipment). In addition, as specific objectives, it was aimed to develop softwares: to function as a serial communication interface, to aid the microgravation process of standards and to generate the images that represent such standards.
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Número de páginas: 15
- Arlindo Neto Montagnoli
- Raul de Queiroz Mendes
