Simulação de Espectrometria de Massa de Íons Secundários
Espectrometria de massa de íons secundários(SIMS) é uma técnica de análise da composição da superfície de um material. A partir de um feixe de íons primário, íons secundários são ejetados do material através de um fenômeno conhecido como Sputtering. Pulsos de alta voltagem periódicos extraem esses íons para o espectrometro de massa. Para auxiliar a investigação dos resultados experimentais, desenvolvemos um software para simular a técnica de SIMS do Laboratório de Implantação Iônica do Instituto de Física da UFRGS. Modelamos cada etapa do experimento computacionalmente em C/Python utilizando métodos numéricos e simulamos as trajetórias dos Íons Secundários obtendo resultados coerentes com observações experimentais.
Simulação de Espectrometria de Massa de Íons Secundários
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DOI: 10.22533/at.ed.60020051111
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Palavras-chave: Espectrometria, Sputtering, Python,
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Keywords: Spectrometry, Sputtering, Python,
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Abstract:
Secondary Ion Mass Spectrometry is a technique to analyse surface composition of a material. Starting with a primary ion source, secondary ions are ejected from the material through phenomenon known as sputtering. High energy periodic voltage pulses extract the ions to the mass spectrometer. To help experiment results investigations, we developed a software to simulate the SIMS technique from UFRGS Ion Implantation Laboratory in Physics Institute. Each experiment step was computationally modeled in C/Python using numeric methods and every ion trajectory was simulated obtaining coherent results with experimental observations.
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Número de páginas: 3
- IGOR ALENCAR VELLAME
- GABRIEL DOS SANTOS ONZI
